检查运动控制平台
检查运动控制平台如Capricorn自动外观检测运动控制平台,采用专用线阵CCD,适用于FPD制造过程中的外观检测。此外,光罩外观检查运动控制平台可高效识别光掩模及玻璃基板上的微小缺陷,满足高精细化工艺的检测需求。
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