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FPD

在FPD及半导体制造运动控制平台领域，我司与日本某头部企业建立了长期、深度的战略合作关系。依托在直驱技术领域卓越的专业能力与深厚的本土化服务经验，我司已发展成为该企业在中国大陆地区最重要的战略合作伙伴，全面承接其核心产品的研发设计、生产制造及售后服务。

测定运动控制平台
在测定领域，精密坐标测定运动控制平台Mercury及更高精度的Mercury SHR，用于光掩模及基板的高精度坐标测量。同时，微小尺寸测定运动控制平台支持FPD关键尺寸的精确测量，为工艺控制与质量验证提供可靠依据。
曝光运动控制平台
多种高性能曝光运动控制平台，涵盖接触式曝光（DZ）、光配向膜曝光（AEGIS）以及大型玻璃基板曝光（RZ）。产品广泛应用于IC引线框架、HDD悬挂、TFT及彩膜工艺，支持从中小尺寸到G10.5超大尺寸母玻璃的高精度曝光需求。
修正运动控制平台
针对FPD制造过程中的各类缺陷，专用的缺陷修正运动控制平台，包括用于成膜突起修正的Jupiter、用于光掩模开放缺陷修正的Sculptor，以及TFT缺陷修正设备Taurus和彩膜缺陷修正设备，帮助客户提升良率与产品可靠性。
检查运动控制平台
检查运动控制平台如Capricorn自动外观检测运动控制平台，采用专用线阵CCD，适用于FPD制造过程中的外观检测。此外，光罩外观检查运动控制平台可高效识别光掩模及玻璃基板上的微小缺陷，满足高精细化工艺的检测需求。

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