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测定运动控制平台
曝光运动控制平台
多种高性能曝光运动控制平台,涵盖接触式曝光(DZ)、光配向膜曝光(AEGIS)以及大型玻璃基板曝光(RZ)。产品广泛应用于IC引线框架、HDD悬挂、TFT及彩膜工艺,支持从中小尺寸到G10.5超大尺寸母玻璃的高精度曝光需求。
光配向膜曝光运动控制平台 AEGIS
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